该项目背静
某新型半导制造技术工厂设在长三边形区县,核心制造晶圆和心片。在制造整个过程中,晶圆打孔和拋光时期呈现广泛机磨液生产废水,单日排股票放量量约50吨。因此生产废水底包含的高质量浓度悬浮物物、金屬阴离子及生产修改剂,直接的排股票放量会对区域环境出现频发危害,工厂继续购买专用汽车项目建设专业化办理公共设施。
废水处理有效成分及由来
磨研液废气包含因素于晶圆制作加工中的化学物质机械厂打蜡 (CMP)生产工序,包含环境污染包含:
悬浮按钮颗粒剂物
:二被钝化硅、被钝化铝等研磨抛光粒子,颗粒直径在0.1-1μm,溶度高达到2000mg/L。
金属件正离子
:铜、铁、锌等,根据cnc精密机械加工垫受到磨损及晶圆外层金属材质层,铜阴阳离子氧浓度约50mg/L。
生产含有剂
:主要包括表面层亲水性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
耐酸咸性化合物
:pH值动荡大,普通在2-11之前。
解决的工艺步骤流程
争对焦化废水形态,选择“预办理+血生化+深层办理”女子组合方法:
的调节池
:教育均衡发展水环境水流量,放入酸碱性调pH至比较适中。
混泥土放置
:加药PAC(缔合氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),去掉漂浮物和溶液,沉降后SS去掉率>90%。
崔化硫化
:主要采用Fenton采血管(H₂O₂+Fe²⁺)溶解生产“食品添加剂,COD出掉率达60%。
动物净化处理
:MBR膜生物技术发生流化床反应器进第一步分解余量有机酸物,COD降到100mg/L以內。
正离子互相交换
:特用树脂材料吸出铜化合物,溢水铜水分含量<0.5mg/L。
砂滤+活性氧炭净化
:抓实出水出水清亮,以达到《污水处理标淮化排放口标淮》(GB8978-1996)一级通过成绩标淮。
最后感觉
程序使用平衡后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铁离子<0.3mg/L。
回收利用率达40%,剩下符合标准废气出,年增多废污水废气出1.10万吨。
工作成本费约15元/吨,远底于产业均衡。