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半导体含氟废水处理案例|半导体含氟废水处理方法

项目流程题材 该光电器件制作机构的坐落在华中中南部,最主要的生育结合三极管集成电路芯片,日排污量含氟废污水约800吨。由偏远地区环境保护基准挺高,改变正确外理场地设施未能需求氟化物排污量质量浓度不超5mg/L的新请求,机构的的投资1400万元重建技术专业含氟废污水正确外理操作系统。 废水处理物质及主要来源 电镀废水首要起缘于集成ic加工制造流程中的刻蚀加工过程和难以清理加工过程,首要影响物是指: 氟化合物密度:300-800mg/L pH值:2- 所含一些硅酸盐、磷酸二氢钠 轻微高价属如铜、镍等 治理 加工制作工艺 施工顺序 所采用"预工作+物理滤渣+角度工作"组合起来技艺: 调准池:营养均衡水质标准水流量,设备pH免费在线检测 两级想法池:添加氢氧化物钙,设定pH至7-8,造成氟化钙水解 三级发展池:发展分离法氟化钙飞灰 二次不良反应池:污泥脱水氯化钙和整合氯化铝,进步骤快速清理残余物氟阴离子 二级考试滤渣自己池:首次滤渣自己剥离 砂滤系统性:避开漂浮物 催化活性炭纤维粘附:出掉可挥发物和进样器巨资属 厌氧颗粒飞灰正确处理程序:板框压滤脱水烘干,厌氧颗粒飞灰水分含量率高于60%一下 后面实际效果 体系运转平稳后,水流水源: 氟铝离子有机废气浓度:2.1-3.8mg/L pH值:6.5-7. SS<5mg/L 巨资属占比均大于验出限 非常具备《电子元器件化学工业水危害物污染物规格》(GB39731-2020)必须,历年避免氟化物污染物约180吨。

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