半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
项目流程后台
该客户公司为全球各地顶尖的半导体器件公测客户公司,隶属于粤西形地,关键对其进行中高端集成ic的划区和封裝检查。鉴于本土优质让坚持原则,客户公司定落实生活污水零直接排放工程建筑。楼盘于明年开始,202四年6月俊工投入运营,处置整体规模为200吨/日,总投资人约2000万块人民币。
生产废水组成及由来
这项目地片区废水处理工艺兼备以內特殊性:
濃度值氟化物,通常发源晶圆切割器后的清洁工作工艺技术,氟阴阳离子浓度值值独角兽高达150-200mg/L
含纳米级级硅粉粒状,粒级多在100-500nm左右
生产负荷率较高,COD在500-800mg/L
包含的氢化物发生器巨资属如铅、镉等
导电率高,一般在2000-3000μS/cm
加工处理制作工艺注意事项
为实现工作目标零直接排放工作目标,施工工艺方案注重来考虑电镀废水类型回收处理利用和产品回收处理:
焦化废水区分采集而来软件系统
:将含氟污废水 处理工艺与的污废水 处理工艺错开回收利用
化工水解除氟
:主要采用有级钙盐积淀法,做好快速积淀池
精致腐蚀操作
:嗅氧离子液体空气氧化可降解难进行处理设计物
膜浓缩造成体系
:运用DTRO碟管式ro反渗透到,浓缩咖啡公因数为10倍
汽化晶粒
:MVR机诫水蒸气再文件压缩空调冷凝器器处理浓水
皮肤干燥模式
:将沉淀盐低温干燥后当作工业企业副护肤品外售
办理功能
软件系统行驶数据信息体现 :
氟化物我们要除率>99.9%,出水量氟亚铁离子<1mg/L
COD总清理率>98%,水流COD<20mg/L
水資源回收处理率>95%,仅造成极富结晶体盐
每一年的可收售高品行回收水约8万吨
成果盐色度进行工艺级规定,进行影视秸秆综合根据根据
活动不禁实行了废污水零尾气排放标准,还经过自然资源收回建立了约80万/年的附加受益。