该晶圆研发厂坐落在苏北位置,最主要的生孩子8厘米半导晶圆,每日废水处理工艺产生量约800吨。随着生孩子方式中运用多盐酸展开晶圆蚀刻,造成的废水处理工艺中氟化物酸度多达200-300mg/L,远超政府产生标准(10mg/L下面的)。
废水处理方法组成及主要来源
废渣最主要来自五湖四海四个关键环节:
晶圆蚀刻生产工序
:含高质量浓度氟化物(HF)、硝酸钠及几瓶血本属
普通机械制造机械制造cnc精密机械加工(CMP)焦化废水
:含納米级硅顆粒、有机化学络合剂
环保设备擦拭废污水
:含异丙醇、氧化还原电位等酚类化合物物
办理艺步奏
分为"电化学沉淀物中自己+混疑沉淀物中自己+淬硬层过滤程序"三级分销治疗软件系统:
特一级外理
:加药氯化钙和氢氧化反应钙,出现氟化钙沉淀出的,氟化物洗去率达85%
二次外理
:加PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),去掉悬浊液态废弃物物
3级治疗
:顺利通过多物质滤过器和亲水性炭气体吸附,有水出氟化物密度安全稳定在8mg/L下类
重中之重仪器还有:pH自功转换控制系统、斜管析出池、板框刮刀离心机(废水脱水过滤)。
终结特效
活动执行三年期监控数据源彰显:
氟化物最低值有机废气浓度:7.2mg/L(高于中国标)
COD避开率:92%
生活污水含水量率:≤65%
年收集氟化钙副物品约150吨,实行资源英文化利于