新项目题材
沪某半导体设备厂产量环节中同一时间呈现高硅污水(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟污水(F⁻ 200-300mg/L)。三种污水相混后容易进行氟硅酸胶体溶液,老式化学奠定法没办法增强符合规格。品牌请求搜集彻底清除硅和氟(排放量规格:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废水处理的成分及收入
首要组成
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
源于
:晶圆刻蚀废液处理方法、CMP精磨废液处理方法、设施冲干净水
处理的工艺方案
一体化沉淀自己过程
:
两极发生反应池
:
一、级加药Ca(OH)₂转为CaF₂和CaSiO₃析出;
其次级加药系统PAC(配位碱式氯化铝)突破水解酸化池。
固液剥离 一阶段
:
超滤膜模式
:主要采用0.02μm孔的直径膜控件公款私存溶液硅和微细沉淀出的物。
程度脱氟分阶段
:
活性酶阳极氧化铁粘附塔
:残余物氟阴阳离子离心分离除掉。
以后功效
留水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远相对比较国内基准。
反渗透膜操作系统通量平稳在15LMH,电化学刷洗期延迟至60天。
工业废水经压滤后水分含量率<65%,可按普通固体废物处理处治。