某半导体材料存储芯片开发厂在晶圆制造期间中,运用硅烷来硅外延性生张,尾气排放洗衣机清洗塔形成高含磷量含硅工业废渣。工业废渣体现了pH起伏大(2-11)、硅含磷量高的优势特点,过去的处置的办法易出来硅垢空气能管道堵塞间题。
工业废水有效成分及因素
废液核心组成为:
容解性硅酸盐
:SiO₂氨水浓度达1000-1500mg/L
氢阳极氧化钠/氢阳极氧化钠
:洗洁塔酸性洗洁液使用量
颗粒状硅
:纳米技术级SiO₂电解质溶液
痕量砷
:塑料原材料沉渣带去
治疗工序程序流程
自主创新用到"多级结合+膜油烟净化器+蒸馏析出"新工艺:
第一中合
:用CaO缓解pH至4-5,产生硅酸钙凝固,硅避开率60%。
五级采和
:加Na₂CO₃将pH提高了至9,进这一步析出剩下的硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透装置设计
:0.02μm瓷质膜过虑纳米技术级硅颗粒物,通量动态平衡在80LMH。
MVR汽化器
:原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 高盐废渣,晶体出Na₂SO₄副物品,水工业废水处理率超90%。
终究体验
总硅从1500mg/L下降5mg/L下类
砷纯度从0.8mg/L降落到0.01mg/L
系统的无积垢运转高达2年
年年收废浓盐酸钠结晶体约800吨