某半导体材料打造企业主因晶圆清理生产工艺形成含氨废气,用水量200吨/天。废气中除高锰酸盐指数外还包含有氟化物和氢化物发生器血本属,除理难易大。本省的排放基准条件高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废水处理方法因素及因素
晶圆拆洗废渣(基本的来源):含高锰酸盐指数200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀加工过程污废水 :含轻微铜、镍等巨资属,pH值振幅大
CMP碾磨废水处理工艺:含硅颗粒剂及氧化还原电位
整理工艺设备标准流程
使用"化学反应水解+膜分离处理+折点氯化"組合工序:
预办理
:加药CaCl2除氟,操作pH在7.5-8.
反渗透装置系統
:去掉0.01μm以下颗粒状物
反构建原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖
:将高锰酸盐指数精提至1000mg/L上述
折点氯化
:小于调整氯添加量,将氧化还原电位转成为惰性气体
阴离子传递
:保障机制血本属不合格
结果效果好
高锰酸盐指数稳固<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属含碳量高于检查限
水回收率达75%
污泥处理引发量极大减少40%