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半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理

活动背景图 该半导体芯片制造业企业地属长三边形国家,核心生產销售85厘米和125厘米晶圆,日尾气排放物废用水量约2000吨。因为生產销售技艺比较复杂,废河中包含有种难光降解生产物和巨资属阴离子,经典办理的方式不可足够急剧从紧的尾气排放物标准。 废水处理材质及来自 生活污水常见来自于三个基本原则:晶圆切割器器生活污水具有大量的硅粉和切割器器液剩余的;化学式物理打蜡 生活污水含高溶液硅和粉磨顆粒;刻蚀除污生活污水具有氟化物、铜铁离子等血本属;光刻生产技术生活污水则具有光阻剂等有机酸破坏物。水体质量特色是COD高(800-1500mg/L)、氟化物质量浓度高(200-400mg/L)、悬屏物多且具有微量分析血本属。 治理工序程序流程 利用"物理预操作+生化模式操作+纵深操作"的组合式技艺: 调准池均衡化水体质量容量 沥青混凝土结晶清除自动隐藏物和固体物 化学反应奠定法专程处里氟化物,污泥脱水钙盐组成氟化钙奠定 蛋白质水解硝化作用池增长废液可生化模式性 学习氧化反应池吸附有机酸废弃物物 生物炭粘附塔实现宽度治理 膜破乳设计保障冒水水质检测保持稳定 重视含铜废液专门处理设备化合物调换操作系统,收售有使用价值的铝合金铜。 结果英文疗效 項目建造后操作稳定可靠,留水COD<50mg/L,氟化物盐氧浓度<5mg/L,铜化合物盐氧浓度<0.3mg/L,那项招生指标均高于发展中国家《智能工农业水水污染源产生量条件》(GB 39731-2020)。第年可减轻COD产生量约300吨,氟化物产生量约50吨,出售铜金属质约2吨,完成了生态环境成效与区域经济成效的互利互惠。

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