半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
活动背景图
该半导体芯片制造业企业地属长三边形国家,核心生產销售85厘米和125厘米晶圆,日尾气排放物废用水量约2000吨。因为生產销售技艺比较复杂,废河中包含有种难光降解生产物和巨资属阴离子,经典办理的方式不可足够急剧从紧的尾气排放物标准。
废水处理材质及来自
生活污水常见来自于三个基本原则:晶圆切割器器生活污水具有大量的硅粉和切割器器液剩余的;化学式物理打蜡 生活污水含高溶液硅和粉磨顆粒;刻蚀除污生活污水具有氟化物、铜铁离子等血本属;光刻生产技术生活污水则具有光阻剂等有机酸破坏物。水体质量特色是COD高(800-1500mg/L)、氟化物质量浓度高(200-400mg/L)、悬屏物多且具有微量分析血本属。
治理工序程序流程
利用"物理预操作+生化模式操作+纵深操作"的组合式技艺:
调准池均衡化水体质量容量
沥青混凝土结晶清除自动隐藏物和固体物
化学反应奠定法专程处里氟化物,污泥脱水钙盐组成氟化钙奠定
蛋白质水解硝化作用池增长废液可生化模式性
学习氧化反应池吸附有机酸废弃物物
生物炭粘附塔实现宽度治理
膜破乳设计保障冒水水质检测保持稳定
重视含铜废液专门处理设备化合物调换操作系统,收售有使用价值的铝合金铜。
结果英文疗效
項目建造后操作稳定可靠,留水COD<50mg/L,氟化物盐氧浓度<5mg/L,铜化合物盐氧浓度<0.3mg/L,那项招生指标均高于发展中国家《智能工农业水水污染源产生量条件》(GB 39731-2020)。第年可减轻COD产生量约300吨,氟化物产生量约50吨,出售铜金属质约2吨,完成了生态环境成效与区域经济成效的互利互惠。