半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
新项目背景图案
该财产园集聚了十余家半导体芯片涉及到的单位,设计方案日治理技能5000吨,还要治理原于各种不同单位的混合法焦化废水处理方法。会因为各单位生產流程差别大,焦化废水处理方法化学成分非常复杂机动,治理困难程度较高。
生活污水材料及因素
焦化废气一般还有3大类:高含量有机化学酸焦化废气(光刻胶、显影液液等)、含氟焦化废气(刻蚀道环节)和耐酸碱焦化废气(除垢道环节)。专项 化学物质还有异丙醇、四甲基氢被氧化铵等难分解有机化学酸物,和氟化物、氟化物等无机物造成的挥发性有机物。焦化废气COD跌涨大(500-3000mg/L),氟化物含量100-500mg/L,氟化物50-150mg/L。
进行处理施工工艺方案
主要包括"分类整理采集而来+分质操作+集合的深度操作"的特色化模式,:
单位里面的区分预处里:含氟废水进行处理工艺专门进行处理持续并预处里
园区规划污水管等区分输送机系统软件
结合设定池均衡性生活饮用水
多级混泥土水解祛除浮窗物和胶体溶液
高效能生物体反响器(HBR)外理有机的污染破坏物
臭氧的危害催化剂的作用阳极氧化化学降解难化解有机会物
反加入整体做出脱盐除理
紫外光线紫外线,消毒确保水流安全可靠
专门放置了手机监测系統系統和自动化加量系統,解决水污染动荡。
终究的效果
系统软件执行五年期来,外理效用安全稳定可信。溢水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,挥发酚<5mg/L,总氮<15mg/L,达标水质监测Ⅳ类标准,区域循环于居民小区园林养护及保压塔补水保湿,循环率少于30%。每次缩短新鲜松茸水便用约五十万吨,为居民小区企业的合理利用煤气费百余多万元。